潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間，Class10,000(即ISO 7 )潔凈室是指房間空氣中顆粒物濃度符合ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)定義的房間。

Class10,000潔凈室的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)

ISO14644-1潔凈區(qū)空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)：


從上表中可以看出，Class10,000(即ISO 7 )潔凈室房間每立方米空氣中：
粒徑≥0.5μm的顆粒物，數(shù)量不得超過352000個(gè)；
粒徑≥1.0μm的顆粒物，數(shù)量不得超過83200個(gè)；
粒徑≥5.0μm的顆粒物，數(shù)量不得超過2930個(gè)；
Class10,000(即ISO 7 )潔凈室對(duì)于粒徑0.5μm以下的顆粒物，沒有做規(guī)定限制，因?yàn)檫@種粒徑的顆粒物對(duì)Class10,000潔凈室中的工藝生產(chǎn)活動(dòng)影響較小。