項(xiàng)目名稱(chēng):ISO6半導(dǎo)體模塊化潔凈室
設(shè)備面積:16 ㎡
設(shè)備內(nèi)部?jī)艨崭叨龋?.4 m
設(shè)備潔凈度:ISO6 (千級(jí))
甲方行業(yè):半導(dǎo)體
項(xiàng)目特點(diǎn):
1.模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),緊湊高效:
整體尺寸為4米×4米,高度2.4米,采用模塊化結(jié)構(gòu),便于運(yùn)輸和快速安裝。框架為高強(qiáng)度鋁合金型材,搭配保溫隔熱的夾芯墻板,邊角圓弧處理,既提升安全性,又減少灰塵積聚,確保潔凈易維護(hù)。
2.配套風(fēng)淋室,潔凈進(jìn)出防污染:
風(fēng)淋室支持紅外感應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng),噴嘴風(fēng)速達(dá)18–22?m/s,風(fēng)淋時(shí)間可調(diào)。雙門(mén)互鎖防止交叉污染,內(nèi)設(shè)應(yīng)急按鈕,異常情況可一鍵停止,保障使用安全。
3.智能控制系統(tǒng),潔凈狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè):
外部配置控制面板,可控制FFU風(fēng)機(jī)和照明系統(tǒng),操作簡(jiǎn)便。差壓表用于監(jiān)測(cè)潔凈室內(nèi)外壓差,確保維持正壓狀態(tài),保障內(nèi)部潔凈穩(wěn)定。
4.RFU搭配空調(diào),保障潔凈與溫濕穩(wěn)定:
頂部配置RFU,持續(xù)提供潔凈氣流,確保ISO 6等級(jí)。系統(tǒng)搭配空調(diào)使用,實(shí)現(xiàn)溫濕度穩(wěn)定控制,滿(mǎn)足半導(dǎo)體工藝對(duì)環(huán)境潔凈度與氣候條件的雙重要求。
5.鋼化玻璃視窗,便于觀(guān)察作業(yè)狀態(tài):
潔凈室設(shè)有雙層鋼化玻璃觀(guān)察窗,在保障密封性的同時(shí)方便外部人員觀(guān)察室內(nèi)運(yùn)行情況,無(wú)需頻繁開(kāi)門(mén),減少污染風(fēng)險(xiǎn)。
6.配電插座預(yù)設(shè),滿(mǎn)足工藝設(shè)備接入:
內(nèi)部設(shè)置多個(gè)電源插座,滿(mǎn)足潔凈區(qū)內(nèi)設(shè)備運(yùn)行需求,支持日常測(cè)試、檢測(cè)及工藝操作,布線(xiàn)整潔、安全可靠。