項(xiàng)目名稱(chēng)：ISO6半導(dǎo)體模塊化潔凈室
設(shè)備面積：16 ㎡
設(shè)備內(nèi)部?jī)艨崭叨龋?.4 m
設(shè)備潔凈度：ISO6 (千級(jí))
甲方行業(yè)：半導(dǎo)體

項(xiàng)目特點(diǎn)：

1.模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，緊湊高效：
整體尺寸為4米×4米，高度2.4米，采用模塊化結(jié)構(gòu)，便于運(yùn)輸和快速安裝。框架為高強(qiáng)度鋁合金型材，搭配保溫隔熱的夾芯墻板，邊角圓弧處理，既提升安全性，又減少灰塵積聚，確保潔凈易維護(hù)。


2.配套風(fēng)淋室，潔凈進(jìn)出防污染：
風(fēng)淋室支持紅外感應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)，噴嘴風(fēng)速達(dá)18–22?m/s，風(fēng)淋時(shí)間可調(diào)。雙門(mén)互鎖防止交叉污染，內(nèi)設(shè)應(yīng)急按鈕，異常情況可一鍵停止，保障使用安全。

3.智能控制系統(tǒng)，潔凈狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：
外部配置控制面板，可控制FFU風(fēng)機(jī)和照明系統(tǒng)，操作簡(jiǎn)便。差壓表用于監(jiān)測(cè)潔凈室內(nèi)外壓差，確保維持正壓狀態(tài)，保障內(nèi)部潔凈穩(wěn)定。

4.RFU搭配空調(diào)，保障潔凈與溫濕穩(wěn)定：
頂部配置RFU，持續(xù)提供潔凈氣流，確保ISO 6等級(jí)。系統(tǒng)搭配空調(diào)使用，實(shí)現(xiàn)溫濕度穩(wěn)定控制，滿(mǎn)足半導(dǎo)體工藝對(duì)環(huán)境潔凈度與氣候條件的雙重要求。

5.鋼化玻璃視窗，便于觀(guān)察作業(yè)狀態(tài)：
潔凈室設(shè)有雙層鋼化玻璃觀(guān)察窗，在保障密封性的同時(shí)方便外部人員觀(guān)察室內(nèi)運(yùn)行情況，無(wú)需頻繁開(kāi)門(mén)，減少污染風(fēng)險(xiǎn)。

6.配電插座預(yù)設(shè)，滿(mǎn)足工藝設(shè)備接入：
內(nèi)部設(shè)置多個(gè)電源插座，滿(mǎn)足潔凈區(qū)內(nèi)設(shè)備運(yùn)行需求，支持日常測(cè)試、檢測(cè)及工藝操作，布線(xiàn)整潔、安全可靠。