Optical thin-film
光學薄膜快裝模塊化潔凈室解決方案
一、潔凈室規(guī)劃與設計
1.潔凈等級劃分
·潔凈生產(chǎn)區(qū):潔凈等級設置為百級、千級或萬級,具體根據(jù)光學薄膜的生產(chǎn)工藝和要求來確定。
·無塵生產(chǎn)輔助用房:潔凈等級設置為萬級、十萬級,一般包括人流進出潔凈用房、物料進出清潔區(qū)和部分車間辦公生活區(qū)等。
·管理區(qū):潔凈等級設置為十萬級或三十萬級,一般包括辦公室、會議室、值班室和休息區(qū)。
2.平面布局
·合理規(guī)劃人流、物流通道,避免交叉污染。
·設置必要的緩沖區(qū)、更衣室、風淋室等凈化設施。
二、裝修材料與施工
1.地面材料
采用環(huán)氧樹脂或PVC地板,具有防靜電、耐腐蝕和易清潔特性。
2.墻面與天花板
·墻面采用平整無縫的抗菌夾芯板或噴涂抗靜電涂料,避免灰塵積累。
·天花板采用FFU盲板或選用防火彩鋼板,確保潔凈度和耐用性。
3.門窗與接口
·門窗采用密閉結構,門配置電子聯(lián)鎖和自動閉合裝置。
·所有接口處必須密封處理,防止顆粒物滲入。
三、空氣凈化系統(tǒng)
1.潔凈空調(diào)系統(tǒng)
·配備高效過濾器(HEPA)和初、中效過濾系統(tǒng),確保空氣潔凈度。
·根據(jù)潔凈等級要求,合理設計送風量、換氣次數(shù)和風速。
2.恒溫恒濕系統(tǒng)
·配備獨立恒溫恒濕系統(tǒng),溫度控制在20-25℃,濕度控制在30%-60%。
·優(yōu)先選擇中央空調(diào)配合除濕機的方式,確保長期穩(wěn)定運行。
四、氣體供應與廢氣處理
1.高純氣體供應
·采用高純度氣體輸送管路(如不銹鋼或PTFE管),確保氣體質(zhì)量。
·配備減壓閥、流量控制器及備用氣瓶切換裝置,提高氣體供應的穩(wěn)定性。
2.廢氣處理系統(tǒng)
·配置活性炭吸附裝置、冷凝回收裝置或濕式洗滌塔等廢氣處理設備。
·根據(jù)廢氣成分選擇合適的處理方式,確保排放氣體符合國家環(huán)保標準。
五、監(jiān)測與維護
1.實時監(jiān)測
·安裝實時監(jiān)測設備,對環(huán)境參數(shù)(如溫度、濕度、潔凈度等)進行實時監(jiān)測。
·聯(lián)動報警系統(tǒng),確保環(huán)境參數(shù)及時調(diào)整,避免影響生產(chǎn)質(zhì)量。
2.維護管理
·制定詳細的維護計劃,定期對空氣凈化系統(tǒng)、氣體供應系統(tǒng)等進行維護保養(yǎng)。
·建立完善的清潔制度,確保潔凈室的清潔度和衛(wèi)生狀況。
























